半導體行業廢氣（qì）處理
半導體行業廢氣主要指的是電解質、矽、金屬、化學物質和有機物（wù）質等的廢氣（qì）。半導體工藝廢氣（qì）中的電解質廢氣主要來源於表（biǎo）麵處理過程的清洗工序，而矽、金屬和化學物質廢氣主要來（lái）源於製造工藝中的燒結、熔體（tǐ）澆（jiāo）注（zhù）、清洗、蒸鍍和磷化等工序。有機物質廢氣（qì）主要來源於製造過程中使用的有機溶劑和有機物質的燃燒反應。
半導體廢氣處理方法
目（mù）前，半導體行業有機廢氣處理方法主要以下幾種（zhǒng）方法：1、活性炭（tàn）吸附（fù）法（fǎ）；2、燃燒法；3、化學法。酸堿性（xìng）廢氣可以選用洗滌塔、噴淋塔（tǎ）、吸收塔。
活性炭吸附是利用（yòng）活性炭的（de）吸附性質，通（tōng）過接觸吸附，使廢氣中的有害物質與（yǔ）活性炭表麵結合，從而達到淨化廢氣的目的。燃燒法是（shì）將廢氣中的有害物質通過燃燒的方式銷毀，減少對環（huán）境的汙染。化學吸收是利用吸收劑的吸收性質，使廢氣（qì）中（zhōng）的有（yǒu）害物質與吸（xī）收劑發（fā）生化學反應（yīng）或（huò）物（wù）理反應，使其轉化為無害物質，從而淨化廢（fèi）氣。
目前，半導體行業廢氣排放標準不同步，我國半導體行業（yè）廢氣排放標準（zhǔn）主要以《半導體工業大氣汙染物排放標準（zhǔn）》為主（zhǔ），但是這個標準的主要適用（yòng）對象是生產芯片的企業，而且許多地區都有自己的排放標準，所以最終需要參考當地環保要求。
隨著半導體行（háng）業的不斷進步，半導體行業的廢（fèi）氣（qì）處理（lǐ）技術也在不斷發展。根據不同的工藝流程，廢氣處理設備也會有所（suǒ）不同，不僅可以滿足環保排（pái）放標準，還能大大降低企業處理成本。
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