半導(dǎo)體廢氣處理
一、半導廢氣處理成份
半導體行業廢氣主要成分為有機廢氣和酸堿(jiǎn)廢氣(qì)兩類。有機類成分:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等(děng),酸堿類成分:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
二(èr)、行業排放標準
三、半導體廢氣處理方法
一般半導體行業針對(duì)廢氣處理的解決方案如下:
(1)預處理階段:采(cǎi)用噴淋塔先對廢進行預處理,去除粉塵以及易(yì)溶於水的有害氣體。
(2)主要處理階段:在此階段,比較常見而有效方法有:UV光(guāng)解,生物過濾分(fèn)解,焚燒和催化燃燒等。
由於每家企業具體產生的廢氣成分、風量大小、廢氣濃度不同,所以采(cǎi)用的(de)半導體廢氣處理方法也會不同(tóng)或者需要多種(zhǒng)方法結合使用,具體(tǐ)處理方案可以谘(zī)詢芭乐视频APP污,芭乐视频APP污將有工程師一對一為您定製廢氣(qì)處理方案。
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